Portée de déplacement augmentée à 200 mm sur un niveau

(En anglais seulement)

Actuateurs Compression/Tension & Cisaillement Torsion

Plage de déplacment 50, 100, 150, 200 ou 250 mm 360° en continu

Résolution 0.5 ou 0.1 um (haute précision) 0.0005°

Vitesse Maximale 100 mm/s 80°/s

Accéleration Maximale 500 mm/s² 320°/s²